PurgGardTM-ST Series Purge / Gas Filter

PurgGardTM-ST Series Purge/ Gas Filter專為半導體設計氣體凈化過濾,使用 XCDA 進行凈化和氣體過濾應用,CDA、N2 和/或惰性氣體,高純度內部製造的性能 PTFE 膜,316L 電拋光不鏽鋼外殼,將提供0.003微米顆粒保留性能。

特色

1.PurgGardTM-ST Series Purge / Gas Filter利用美國進口的高純度和高性能PTFE膜

2. 0.003 微米過濾驗證為相等或在測試時更好地保留顆粒,以對抗超高純度的基準,POU 氣體過濾器的評級> 99.9999%。

3.由新料支撐的 PTFE 膜聚丙烯結構提供卓越化學相容性與 XCDA, CDA, N2和惰性氣體,使這些篩檢程式的理想使用點,清除氣體應用以快速減少顆粒、濕度和揮發性有機化合物,封閉的迷你環境。

4.經濟高效的解決方案。

5.超清潔濾波過濾器設計、材料選擇和UHP淨化程序優化到消除揮發性有機化合物的脫落和消氣,確保可靠的下游清潔度,最後裝配用過濾氮初始清潔,以 ISO9000 系列製造,經過認證的潔凈室設施,100% 氦氣洩漏測試到大於 1×10-9atm cc/秒。

應用

1.FOUP 的使用點清除氣體應用程式,光罩傳送盒和迷你環境。

2.一般及加工惰性設施氣體。

3.用於關鍵計量的清潔乾燥空氣 (CDA*)檢查和光刻應用。

* 在 CDA 和設施氣體過濾應用中,顆粒挑戰和其他差異獨特的每個系統,可以影響整體過濾性能,並可能影響有用的每個過濾器的過濾期。

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