主要用於檢測半導體・液晶製造時的露光、洗淨、熱處理工序所使用的藥液、純水等的液面、漏液，採用獨自的光學系實現了穩定檢測、省空間，支持失效保護，晶元匹配時使用的狹光光纖單元、LED等微小部品的落下檢測用光纖單元採用適合用途的光學設計及筐體設計，使高檢測性能與省空間得到了統一，減少了調整工時，也提高了維護性。