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PurgGardTM-200 / 400 Series Purge Gas Filter
特色
1.PurgeGardTM利用進口的高純度和高性能PTFE膜,並被驗證有相等或更好在測試時保留顆粒超高純度 POU 氣體的行業基準過濾器,額定值為 99.999999 % 去除0.003um粒子。
2.提供出色的化學相容性N2、XCDA、CDA 和惰性氣體,以製造這些氣體過濾器,是使用點淨化氣體的理想的篩檢程式,快速減少顆粒的應用、濕度和有機物在封閉的迷你環境中使用。
3.PurgeGardTM濾波器硬體增強至具有防靜電特性,並驗證為適用於關鍵高純度的 VOC應用。
應用
1.超清潔篩檢程式設計過濾器設計、材料選擇和 UHP淨化程序被優化為消除揮發和排氣的揮發和排氣確保可靠的下游清潔度,以 ISO9000 系列認證清潔製造房間設施。
2.FOUP使用點淨化氣體,應用在光罩傳送盒和最小環境。
3.經濟、低壓氣體管路、儀器或處理應用程式。