特色
高潔淨度的一次性濾芯,提供三種高表現性的薄膜選擇:
1.疏水性的PTFE薄膜。
2.尼龍薄膜。
3.PES薄膜。
具有高純度PP等級支持的超高純膜材質,應用在嚴苛的光化學製程。
應用
1. 擁有高表現性的PTFE薄膜,這種設計是在光化學或染料化學製程中從侵略性的溶劑中用來移除硬跟小的顆粒,在使用溶劑的濕製程是需要的,它提供了優越的化學兼容性,廣泛的應用在光刻膠和溶劑中。
2.D系列一次性的濾芯使用在光刻尼龍薄膜,被設計在去除微小的、軟的凝膠及顆粒,去除預濕及停機時間。
3.溶劑持續應用在前置光阻劑系統,(光刻)光致酸產生劑,酸的淬滅劑,添加 劑,表面活性劑,預濕是不需要的。
4.D系列一次性的濾芯幫助消除增透膜在光刻過程中微小橋接以及錐體的缺點。
5.D系列一次性的濾芯使用在最高品質PES薄膜、親水性的正片顯示液,例如四甲基氫氧化銨(TMAH)和DI純水,去除成形泡泡和微小泡泡。