FluoroFloTM-B AT Series Cartridge Filters for Wafer Bumping Applications

優越的褶縐PTFE濾芯(聚四氟乙烯)帶 PFA 支援的膜過濾器,在廣泛的晶圓碰撞的惰性和微電子工藝化學應用

 

特色

1.優化 80% 至 95% 孔隙,均勻孔隙,尺寸分佈和過濾面積,低壓降、高流速和長服務生活。

2.過濾器是在不使用添加劑的情況下製作的,表面改性劑或後處理以確保純度性能不妥協。

3.品質憑證,隨每一個時段產品質量保證,確保濾芯到濾芯,篩檢程式,批量到批量和性能都一致。

4.高純度套用過濾程式潔淨室環境。

5.快速沖洗時間,因為過濾器已預先用超純DI水沖洗 (18.2百萬歐姆,TOC 小於 10ppb),揮發性 < 10ppb 水分性能規格。

應用

1.晶圓凹凸蝕刻,脫模化學過濾。

2.溶劑過濾。

3.具有強酸和鹼溶液半導體溫度製造。

4.具有侵略性的化學過程,光伏和數據存儲行業。

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