特色
1.添加劑無約束力或低結合,SlurriChemTM 非常有效,經濟型先進節點漿料化學應用,專有尼龍膜是非互動的,許多添加劑,順序與 PE 材料相比, 幅度更好。
2.優化的保留等級,取決於SsrichemTM 過濾器孔徑選擇, 它有優化的保留額定值允許高拋光磨料的通過50nm 到150nm及以上顆粒的高保留率工作顆粒大小。
3.消除微泡沫產生SlurriChemTM 系列高度親水性表面不僅方便使用,沒有預潤濕,以最大限度地提高流程的上一步時間,它降低微泡的潛力生成,以防止條紋和其他相關缺陷。
4.卓越的專有膜技術流速 SlurrichemTM Nlm 和 PSF膜能夠提供所需的流量率與行業證明的標準褶皺方法,這是高度可靠的。
5.高純度處理 ,高純度處理確保低金屬污染物用於泥漿化學過濾,確保高純度性能和可靠的過濾。
應用
1.拋光 / 觸控 CMP 泥漿過濾。
2.先進泥漿化學過濾。
3.晶圓廠中使用稀釋酸和高濃度的氫氧化物溶液。