氣體流量計有著豐富積累的MEMS傳感器技術，結合耐腐蝕性高的石英玻璃流路，實現了以往的測量方式難以達到的數mL/min的微小液體流量的瞬時/累計流量的高再現性測量，與傳統測量方式相比，不易受到流體狀態變化（氣泡、脈動、流體溫度等）的影響（根據情況可能需要修改設定)，可簡單進行微小流量測量，通過測量流量，可以取代泵旋轉數的管理、重量測量、流體供給時間管理等替代性方案，從而實現更可靠的數據管理。