PurgGardTM-ST 2H Series Purge / Gas Filter
特色
PurgeGardTM 利用進口的高純度和高性能PTFE膜具有:
1. 0.003 微米過濾驗證為相等或測試時更好地保留顆粒與超高純度的行業基準POU 氣體過濾器額定值 > 99.999999%。
2.高純度支援的 PTFE 膜聚丙烯結構提供出色的與 XCDA、CDA、N2 的化學相容性和惰性氣體，使這些篩檢程式是理想的使用點淨化氣體應用，以快速減少顆粒、濕度和揮發性有機化合物封閉的迷你環境。
3.經濟高效的解決方案。
應用
1.前開式晶圓傳送盒(FOPU)的使用點凈化氣體應用，光罩傳輸盒(Reticle Pod)和迷你環境。
2.一般和製程嵌入設施氣體。
3.清潔乾燥空氣 （CDA*）， 用於關鍵計量，檢測和光刻應用。