1.快速響應:細微、熱容量非常小的MEMS傳感器直接與氣體接觸進行檢測，實現了快速響應。

2.低壓損構造:μF傳感器設置在流路的壁面上，具有低壓力損失的特點，最適合於低壓氣體流量的檢測、控制。

3.高精度:μF傳感器隨時間的特性變化非常小，能長期保持高精度。

4.各種功能:通過控制機器積累的微電腦的技術，搭載了以前的質量流量計沒有的各種功能，瞬時／累積流量顯示、燃氣種類切換功能、上下限報警輸出、模擬輸出、累積脈衝輸出、通信功能等（*因產品而異）

5.種類豐富的產品:根據使用用途，備有從5mL/min型號到500L/min型號的寬廣流量區域的產品。