質量流量計，即Mass Flow Meter (MFM)，是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償，而質量流量控制器，則帶有控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量大小。