數位氣體質量流量控制器F4Q是利用azbil獨自開發的量測晶片技術，在無流的狀態下，微型感知器以加熱器為中心，產生左右對稱的溫度分布，當有流狀態下，氣體會擾動上，下游端的溫度分布狀態，而使其溫度對稱分布之特性遭到破壞藉此精密的晶片感測部即可馬上量測到該氣體帶走的熱質，進而演算出流量，面對特殊氣體控制時，通常工程師需配合外部PC及PLC等設備，撰寫補償程式相當麻煩，利用F4Q參數多點流量修正功能，不須與外部機器配合之補正表及程式撰寫，也毋須將實物返送予製造廠商，可節省費用與縮短交期。