1.直接測量氣體的質量流量。

2.無可移動部分，本身無類似轉軸等的移動部件，增加了本身的可靠性，無需機械維護。

3.可以精確的測量微小流量，採用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力範圍很大。

4.測量控制的自動化。

5.精確地定量控制流量。

6.準確度高，重複性好，準確度可達+-1%F.S（full scale）重複性為＋-0.25%F.S（full scale）。

7.體積小巧，安裝方便，操作簡單，技術先進，符合發展潮流。